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Microfabrication
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Histoire du musée
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Le COPL possède des infrastructures en salles blanches qui lui permettent d’offrir des services en microfabrication aux chercheurs et aux entreprises. Alors que certains équipements standards sont mis à la disposition d’usagers externes, d’autres plus spécialisés sont opérés par des techniciens-experts dont la formation et l’expérience permettront à la clientèle de tirer pleinement profit de toutes les fonctionnalités disponibles. Contactez-nous pour une évaluation de la faisabilité de votre projet.
Infrastructures

Dépôt par centrifugation
Tournettes pour dépôt par centrifugation (spincoating)
Stations de nettoyage, gravure chimique et recuit thermique

Photolithographie
Aligneur de masque pour exposition à 365 nm
Résolution de 0.8 μm

Gravure ionique réactive
2 systèmes PlasmaTherm 790 pour quartz et chalcogénures
Substrats de 50 à 200 mm
Taux de gravure 20 nm/min
Profondeur jusqu’à 1 μm
Exemples de réalisations
Microcircuits, surfaces conductrices et masques
Impression de formes et de m icro-circuits sur mesure sur des substrats en verre, en polymère et en silicium

Éléments diffractifs
Réseaux de diffraction ayant un pas et une profondeur ajustés à vos besoins
