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Microfabrication

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Histoire du musée

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Le COPL possède des infrastructures en salles blanches qui lui permettent d’offrir des services en microfabrication aux chercheurs et aux entreprises. Alors que certains équipements standards sont mis à la disposition d’usagers externes, d’autres plus spécialisés sont opérés par des techniciens-experts dont la formation et l’expérience permettront à la clientèle de tirer pleinement profit de toutes les fonctionnalités disponibles. Contactez-nous pour une évaluation de la faisabilité de votre projet.

Infrastructures

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Dépôt par centrifugation

  • Tournettes pour dépôt par centrifugation (spincoating)

  • Stations de nettoyage, gravure chimique et recuit thermique

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Photolithographie

  • Aligneur de masque pour exposition à 365 nm

  • Résolution de 0.8 μm

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Gravure ionique réactive

  • 2 systèmes PlasmaTherm 790 pour quartz et chalcogénures

  • Substrats de 50 à 200 mm

  • Taux de gravure 20 nm/min

  • Profondeur jusqu’à 1 μm

Exemples de réalisations

Microcircuits, surfaces conductrices et masques

Impression de formes et de m icro-circuits sur mesure sur des substrats en verre, en polymère et en silicium

Éléments diffractifs

Réseaux de diffraction ayant un pas et une profondeur ajustés à vos besoins

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